真空气氛炉的炉管有310s不锈钢材质的，有刚玉材质的也有石英材质的。不锈钢管式炉能做到高真空，可达0.001pa，但是温度一般不超1000°C。刚玉管和石英管只能做到低真空，但温度可超过1000°C。如果管式炉有地方漏气，则应先检查连接口部分。一般是这个地方的生胶带太薄就容易漏气，此时的管式炉压升率很大，一般几十分钟就和大气压一样了。
